Tiedustelen mistä voisi löytää luettavaksi puolijohdetekniikan standardeja:
SEMI C28 - Specification and Guide for Hydrofluoric Acid
SEMI C35 - Specification and Guide for Nitric Acid
SEMI PV11 - Specification for Hydrofluoric Acid, Used in Photovoltaic Applications
SEMI PV16 - Specification for Nitric Acid Used in Photovoltaic Applications
Vastaus
Kysyttyjä teoksia tuskin löytyy yleisistä kirjastoista. Liitän vastaukseen PDF:nä tuon C28.
Tässä lisäksi URL-osoite, josta voi ladata noita kysyttyjä itse lisää http://m.wdfxw.net/doc74157868.htm
Kommentoi vastausta